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电容式贺德克压力传感器的工作原理

2019-12-03 15:49

      贺德克压力传感器采用位移式传感器测量压力,为了能将压力转换为电信号,机械式膜片和波纹鼓动位移用电子位移传感器测出机械式压力值,便成为可直接应用于现代工业自动化系统中的电子类压力传感器。如可变电势差压力传感器,其测量电路简单,信号无需放大,但其体积大,动态响应差,接点易磨损。线性差分变压器非常适合测量微小的位移可达亚微米级,灵敏度极高。其两个输出线圈构成一个差分信号检测电路,抗干扰能力强。它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一则相应减小,测量结果由差动式电路输出。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成,过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂。
 
      贺德克压力传感器差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好,但加工较困难(对称性),而且不能实现对被测气体或液体的隔离,因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中。膜片电容压力传感器是两个相互电绝缘的有一定导电性的极板组成,可看成一标准的平行板电容器,其中一个电极板是可在外加压力的作用下产生形变的弹性膜片,另一个极板固定在传感器的外壳上不会在压力作用下变形。当压力变化引起检测极板变形改变压力电容器极板间距,进而引起电容量变化来检测压力变化。
 

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